本平台拥有进口超高真空磁控溅射仪、微波水热反应仪、微波烧结炉、球磨机、手套箱等材料制备与加工设备，可开展纳米颗粒、功能薄膜与陶瓷等新型光电材料的制备及工艺研究。
仪器名称： PVD-75型磁控溅射系统
制造商: 美国Kurt-Lesker公司
主要用途：用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。该系统具有很好的薄膜制备均匀性和重复性以及高真空度，高安全性等优点。
性能参数：溅射模式：直流、射频；
溅射电源：直流、射频电源各一套；
最大功率：直流300W，射频500W；
极限真空度：优于5×10-8托；
样品加热：室温-600℃；
衬底尺寸：最大6英寸平板基片，向下兼容，衬底平台可自转；
靶位：3个2英寸磁控溅射靶，靶位可弯折实现共溅；
工艺气体：O2、Ar，均由MFC控制；
仪器名称：Biotage Initiator+ 微波化学合成仪
主要用途：应用于有机/无机合成、纳米和高分子聚合物、材料等领域，在温度，压力，操作系统，控制系统均有了升级。300℃/30bar的条件可执行更为困难的反应，更灵活地选择溶剂，可运行低沸点溶剂至更高温度。
性能参数：温度范围：40-300℃；压力范围：0-30bar；容积：0.2-30mL；全自动控制，模块化设计，8位自动进样；实时功率、温度、压力测量、记录
仪器名称：手套箱
性能参数：箱体尺寸：两个不锈钢箱体，大：1200mm×750mm×900mm；
小：1200mm×300mm×900mm；
水氧含量：H2O<1ppm ，o2<1ppm ；泄露率：<0.001vol%/h；
大过渡仓尺寸：370×600mm，具有自动抽气和充气功能；小过渡仓尺寸：150 × 300mm；循环风机流量：603m/h； 箱体压力： +10 至-10毫巴
